CEM3000系列國內(nèi)高分辨力臺式掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價值。它用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
CEM3000系列國產(chǎn)鎢燈絲高分辨率臺式掃描電鏡不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力,而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠。它的抗振設(shè)計在充滿機(jī)械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。
VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。
NS系列沉積薄膜高度臺階儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
CEM3000系列臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。我們也樂于根據(jù)客戶提出的需求,定制個性化的技術(shù)方案,配合客戶挖掘深層次的使用需求。
VT6000共聚焦光學(xué)類測量顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。
NS系列國產(chǎn)臺階儀測量膜厚儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。
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