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SuperViewW白光干涉表面微觀形貌檢測系統(tǒng)通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉3D顯微測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW摩擦磨損形貌白光干涉測量儀是以白光干涉技術為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)對摩擦磨損區(qū)進行全面的分析判斷。

SuperVIewW納米級白光干涉三維形貌分析測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。

SuperViewW納米級白光干涉三維測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。典型結(jié)果包括表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

中圖儀器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。